Nanoimprint

Das ist jetzt fürchterliches Halbwissen, dass ich hier vorbringen. Aber berührt beim Nanoimprint die Maske nicht das Resist bzw. muss zumindest in dessen unmittelbare räumliche Nähe gebracht werden?
Damit müssen die Strukturen auf der Maske genauso klein sein wie die Strukturen, die später auf das Substrat aufgebracht werden was sie entsprechend teuer macht. Und wie steht's mit der Lebensdauer der Maske? Wie mit dem Yield?