siar schrieb am 07.09.2023 13:13:
Dir ist aber schon klar, dass die für minimal193 Nanometern ausgelegt sind?
EUV hat 13,5 nm, darum wird mehrfach belichtet.
siar schrieb am 07.09.2023 13:13:
Dir ist aber schon klar, dass die für minimal193 Nanometern ausgelegt sind?
EUV hat 13,5 nm, darum wird mehrfach belichtet.