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  • gummy12

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EUV hat 13,5 nm, darum wird mehrfach belichtet (Bitte macht euch vorher schlau)

siar schrieb am 07.09.2023 13:13:

Dir ist aber schon klar, dass die für minimal193 Nanometern ausgelegt sind?

EUV hat 13,5 nm, darum wird mehrfach belichtet.

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