gummy12 schrieb am 07.09.2023 13:21:
siar schrieb am 07.09.2023 13:13:
Dir ist aber schon klar, dass die für minimal193 Nanometern ausgelegt sind?
EUV hat 13,5 nm, darum wird mehrfach belichtet.
so macht man das auch bei DUV Belichtern, um auf kleinere Strukturgrössen zu kommen. Und deshalb sinkt eben auch der yield, weil die Belichtungen immer komplexer werden, je kleiner die Strukturgrösse wird. So wären möglicherweise auch noch 5nm Strukturen mit DUV Belichtern denkbar, aber wohl nicht mehr wirtschaftlich.