Die Beleuchtung und die Projektionsoptik in den ASML-Maschinen kommen seit jeher von Carl Zeiss SMT, daher ist diese Firma am ehesten in der Lage, das Patent aufzugreifen und weiter zu entwickeln, oder es für die kommenden Projekte zu nutzen.
Eigentlich hätte dieser Ansatz zur Vereinfachung der Optik von Zeiss kommen müssen., aber dort hatte man sich in den letzten Jahren wohl mehr auf die Verbesserung der EUV-Lichtquelle fokussiert. Unterschätzt die heimische Wirtschaft nicht!
1 Beitrag seit 12.08.2024