ASML hätte wahrscheinlich am schnellsten ein Tool auf dem Markt

Es braucht sehr viel mehr um solche Tools zu entwickeln und zu bauen als die theoretischen Überlegungen zu einer neuen Optik.
Außerdem wäre so ein Tool keine Alternative zu ASMLs EUV System eher eine Alternative zu iARF.
Außerdem sind die Einschränkungen ein ziemlicher Blocking Point für eine Einführung.