> Silizium-Photonik-Chips können mit "relativ ausgereiften Rohstoffen und Ausrüstungen" hergestellt werden und benötigen nicht die hochmodernen Euv-Lithografieanlagen, die für die meisten Chips erforderlich sind.
Gibt es hierfür eine Quelle?
Will ich kleine Strukturen, muß ich die ja irgendwie abbilden. Und dafür werde ich wohl EUV brauchen, ob da nun klassisch oder per Photonikeffekten gearbeitet werden soll.