Wurde in den anderen Threads getan. Bei 100nm Schichtdicke ~0.5 m² (vollflächig), bei 25nm ca. 2.85m² (mit Spalten, bei ~70% Flächenbelegung) Kommt drauf an wie genau man "rechnet" oder eher schätzt.
Gruß
DWD
Wurde in den anderen Threads getan. Bei 100nm Schichtdicke ~0.5 m² (vollflächig), bei 25nm ca. 2.85m² (mit Spalten, bei ~70% Flächenbelegung) Kommt drauf an wie genau man "rechnet" oder eher schätzt.
Gruß
DWD