CVD != Verdampfen!

Hi!

"CVD-Prozesse (  Chemical Vapor Deposition), das heißt sie erzeugen
dünne Schichten aus Materialien, in dem sie sie erhitzen und
verdampfen lassen."

Das waer dann wohl eher ein P(hysical)VD-Prozess. Das heisst nicht
umsonst CVD, schliesslich findet eine chemische Reaktion statt. Beim
CVD-Prozess zersetzt sich irgentein leichtfluechtiger Precussor (z.B.
hochgiftige Metallorganika oder Halogenide) an der erwaermten
Substratoberfläche. Das abzuscheidende Material setzt sich ab und der
Rest entweicht. Zur Unterstuetzung der Reaktion und um die
Substrattemperatur niedrig zu halten wird manchmal eine
Plasmaentladung (PACVD oder PECVD) genutzt.

Tschau Soeren