"...Die arbeiten aber nicht daran ASML machinen nachzumachen, sondern entwickeln gleich die Nachfolgertechnik..."
Das weiss ich. Es ist faktisch eine Abwandlung der bisherigen Prototypen- Technologie. Neben den Chinesen arbeiten auch mindestens drei westliche Forschungsinstitute bereits seit Jahren an dieser Technologie. Insofern ist der Patentschutz längst nicht so einseitig auf chinesischer Seite. Was auf chinesischer Seite ist, ist das Momentum. Die Chinesen haben Mitte letzten Jahres mal ca. 1 Milliarde Dollar in die Hand genommen, um eine Versuchsanlage im Maßstab 1:1 auf den Weg zu bringen. Das scheint zumindest TSMC aufgeschreckt zu haben. Die neue Technik hätte, wenn sie denn funktioniert, einige Vorteile, darunter niedrigere Investitionskosten und - vielleicht am wichtigsten - ein deutlich niedrigerer spezifischer Energieverbrauch als ASMLs EUV bzw. High NA EUV. In Folge kamen von TSMC einige interessante Aussagen bzgl. ASMLs High NA EUV. Dort ist man wohl offenbar gar nicht mal mehr so böse, dass sich Intel ASMLs erste Jahresproduktion an High- NA EUV Maschinen gesichert hat.
Bei einem Baustart Mitte 2023 wird die neue chinesische Chipfabrik allerdings erst frühestens Ende 2025 die ersten Chips ausspucken - und dann auch nur, wenn alles funktioniert wie geplant. Bis dahin laufen die ersten Intel- Fabriken mit den High- NA Maschinen und auch TSMC wird diese ASML Maschinen erhalten haben.
Von TSMC würde ich erwarten, dass sie ebenfalls mal eine Milliarde für eine Prototyp- Anlage mit der Free Electron Technologie in die Hand nehmen. Allerdings würde ich nicht erwarten, dass sie hierfür ASML als bevorzugten Partner sehen.
Intel hingegen halte ich für zu blöd und zu geizig dafür, hier zweigleisig zu fahren. Die Koreaner probieren möglicherweise etwas ganz anderes aus. Aber das ist Spekulation.