Chinas Chipindustrie holt auf: SMEE meldet Patent für EUV-Technologie an
(Bild: Dilok Klaisataporn / Shutterstock.com )
China macht Fortschritte in der Chiptechnik. Hersteller SMEE hat ein zukunftsweisendes EUV-Patent angemeldet. Kommt es westlichen Standards nahe?
Der technologische Fortschritt in China ist kaum aufzuhalten. Dies zeigt ein am Dienstag veröffentlichtes Patent des chinesischen Herstellers von Lithografiesystemen Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE). Das im März 2023 eingereichte Patent für "Generatoren für extrem ultraviolette Strahlung und Lithografiegeräte" wird derzeit von der chinesischen Behörde für geistiges Eigentum geprüft.
Chinas technologischer Fortschritt: Neues Patent von SMEE
Das Patent zeigt, wie SMEE Fortschritte in der EUV-Lithografie macht, die als Achillesferse der chinesischen Halbleiterindustrie gilt. Dennoch bleibt das Unternehmen weit hinter dem niederländischen Konzern ASML zurück, wenn es um die Massenproduktion von Lithografieanlagen geht, die für Chipprozesse im Bereich von 28 Nanometern und darunter eingesetzt werden können.
SMEE wurde im Dezember 2022 zusammen mit 35 anderen chinesischen Unternehmen auf eine Schwarze Liste der USA gesetzt, die auch die Einfuhr bestimmter US-Technologien einschränkt.
ASML: Dominanz und Herausforderungen auf dem chinesischen Markt
Der chinesische Markt für Lithografieanlagen wird zu 99 Prozent von ASML und den japanischen Unternehmen Nikon und Canon kontrolliert. Nur ASML stellt Maschinen für Chips mit einer Größe von weniger als 7 nm her.
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ASML steht jedoch unter Druck, Kunden in China zu bedienen, dem zweitgrößten Markt nach Taiwan. Laut Jahresbericht 2023 konnte ASML nur 50 Prozent der Aufträge aus China erfüllen. Seit dem 6. September benötigt ASML eine niederländische Lizenz für Ersatzteile, Software-Updates und die Wartung seiner Systeme in China, berichtet die in Hongkong ansässige South China Morning Post (SCMP). Zuvor musste die Exportgenehmigung in den USA eingeholt werden.
Die USA möchten die Entwicklungsmöglichkeiten eines strategischen Gegners im Bereich der Computerchips einschränken. Angeblich sei die nationale Sicherheit gefährdet, da China – ebenso wie westliche Staaten – Computerchips für künstliche Intelligenz und militärische Zwecke nutzen könne.
ASML-Chef kritisiert US-Restriktionen
Washington drängte daher die Niederlande und Japan, die Lieferung verschiedener Technologien an China zu beschränken. Beide Länder waren jedoch wenig begeistert, was zu Drohungen aus dem Weißen Haus führte. Dort habe man betont, dass man die schärfsten verfügbaren Handelsbeschränkungen in Betracht ziehe, wenn Den Haag und Tokio nicht mitmachten, berichtete der Finanzdienst Bloomberg unter Berufung auf mit der Angelegenheit vertraute Personen.
Laut ASML-Chef Christophe Fouquet geht es Washington aber nur bedingt um die nationale Sicherheit. Die Restriktionen würden "meist aus wirtschaftlichen Gründen" gefordert. Und es werde "immer schwieriger zu argumentieren, dass es hier um die nationale Sicherheit geht".
Die bestehenden Beschränkungen konnten allerdings nicht verhindern, dass sich die chinesische Chip-Produktion weiterentwickelte. Aufsehen erregte der chinesische Konzern Huawei mit seinem Smartphone Mate 60, dessen Prozessor mit der fortschrittlichen 7-Nanometer-Technologie hergestellt wurde.
Dies zeugte davon, dass inzwischen auch mit älteren Maschinen fortschrittliche Chips hergestellt werden können. Deswegen hat die niederländische Regierung die Liste mit Exportrestriktionen auch erweitert.